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淺析離子減薄儀是如何工作的
點擊次數(shù)：2827 更新時間：2017-10-13
離子減薄儀原理
離子減薄儀該設備由小角度樣品旋轉系統(tǒng)、高真空系統(tǒng)、高壓電源系統(tǒng)、快速氣動換樣系統(tǒng)以及高能聚焦離子槍等主要部分組成。設備外觀美觀、操作方便，可靠性好，是從事材料科學研究所*的關鍵設備。
1.小角度樣品旋轉系統(tǒng)
作為離子減薄儀的核心部分，因其結構設計合理、精巧實用，獲得了國家。其特點：
(1) 樣品臺旋轉穩(wěn)定，對離子束無遮擋
該裝置采用了齒輪傳動方式，用傳動齒輪帶動主齒 輪轉動，從而使安置在主齒輪上的樣品平穩(wěn)轉動。該裝置避免了國內外同類產(chǎn)品中三柱式樣品臺旋轉系統(tǒng)及軸承傳動旋轉系統(tǒng)的缺點，使樣品臺不會在旋轉減薄過程 中遮擋離子束(Ion beam)，以及樣品旋轉不穩(wěn)定而導致樣品薄區(qū)表面不均勻等問題。同時，該裝置還解決了因離子束撞擊樣品臺而污染真空室的問題。
(2) 離子束掠射角小，樣品薄區(qū)大
該系統(tǒng)采取了超薄型樣品臺設計，使樣品與離子束之間的掠射角同時減小到zui小角度(僅為1.5°)，因而被減薄樣品的薄區(qū)范圍比同類產(chǎn)品所減薄樣品的薄區(qū)明顯增大，這也是該系統(tǒng)的主要特點之一。
(3) 系統(tǒng)結構緊湊，樣品減薄速度高
在離子槍的結構上克服了目前同類產(chǎn)品的結構缺陷,調近了離子槍與樣品的距離，達到了節(jié)約能源、提高減薄速度的效果。
(4) 樣品臺導熱性能好
在樣品減薄過程中,由于高能離子束的沖擊作用，樣品的溫度會有所升高，針對這一問題，樣品臺采用特制導熱性能良好的材料，從而降低了樣品的溫升，這樣保證了樣品在減薄過程中不會發(fā)生相變。
2.高真空系統(tǒng)
由于系統(tǒng)結構緊湊、小巧，使真空室體積大大縮小，提高了系統(tǒng)抽真空的速度及真空度，為減薄樣品創(chuàng)造了有利條件。
3.高壓電源系統(tǒng)
系統(tǒng)采用國外進口元器件，性能優(yōu)良，安全可靠，使用壽命長。電源高壓穩(wěn)定，電壓可隨意調節(jié)，并實現(xiàn)了高壓故障自動保護。
4.快速氣動換樣系統(tǒng)
為了減少因更換樣品而影響樣品減薄時間及系統(tǒng)抽真空時間，特別設計了快速氣動換樣系統(tǒng)，實現(xiàn)了在不影響系統(tǒng)真空的條件下，快速更換樣品的目的。
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